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식각

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작성일 24-04-28 12:33

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Download : 식각.ppt

설명

Download : 식각.ppt( 84 )

반도체 공정 순서 (참고)
레포트/기타

식각

순서

,기타,레포트

-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻
등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬
순수한 화학적 reaction
높은 선택적(Selectivity) reaction
원가는 비싸나 장비는 덜 비쌈
폐기물 처리 문제 수반

-반도체 공정 중의 하나

식각

다.

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