박막증착에 대해
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작성일 23-07-24 03:45
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박막의 제조방법
박막의 제조방법에는 음극 전해 성막법, 무전극 또는 무전기 성막법, 양극 산화법, CVD법 , 액상 에피탁시법, Langmuir-Blodgett 막 형성법, 흡착 방법이 있다
1-1)음극 전해 성막법
성막될 물질이 보통 금속일 경우,이 물질이 이온의 형태로 녹아 있거나,어떤 액체 속에 섞여 있는 것을 사용한다.박막증착에 대해
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다.
5.조건에 따라 선택 성장이 가능하다. 그 용액이나,액체 속에 두 전극인 +와 -를 삽입하고, 전압을 걸어 주면 금속성인 +이온이 음극으로 끌려오고,이 금속이온이 음극 표면에 모여서 막을 형성되는 방법이다.
4.플라즈마를 사용하지 않기 때문에 고속 입자의 충돌로 인한 손상이 없다.
1-2)무전기 또는 무전기 성막법
전기화학적 과정에 의해 막이 형성되는 방법.즉,외부로부터 전장을 가하지 않아도 막이 형성되는 방법이다.1-3)양극 산화법
산…(To be continued )1-4)액상 에피탁시법
1-5)Langmuir-Blodgett 막 형성법
1-6)흡착방법
1-7)CVD(화학적 증착법)
1.원료 가스나 reaction response계 조건의 설정에 따라 고순도의 박막이 형성된다
2.피복성이 좋다
3.플라즈마 CVD와 비교하여 장치 구성이 간단하다.
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박막과 증착의 定義(정이)
박막이란 전기적,결정적 속성 이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있따
증착이란 액체가 증기로 되어 수송되고 성막되는 과정을 말하며,고체가 바로 증기가되어 수송되는 것을 승화라 하며,이것이 박막이 되는 기본 메커니즘이다.
