재료공학 기초실험 - 면저항 측정 실험
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작성일 24-05-14 17:34
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두이 때 전체 길이를 폭으로 나눈 값을 면 개수(Sheet number)라고 한다.
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설명
면저항 측정(測定) test(실험)
1. test(실험)
목적 : 면저항의 개념(槪念)을 알고, 직접 면저항을 측정(測定)
해봄으로써 면저항을 측정(測定)
하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다. 그러므로 다시 말하면 전체 저항은 면저항과 Sheet number만 알면 쉽게 계산할 수 있게 된다
다음으로 면저항을…(skip)
① Van der Pauw`s method
② 4-Point probe method
3 test(실험) 결과
4.51mΩ
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실험과제/재료
순서
다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다
옴의 법칙에서 V = IR 이다. R =ρ(길이/단면적)이다. 여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을 가르키는 것이다.
2. 理論(이론)
면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(測定) 하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다. 이것을 다음과 같은 定義(정의)에 의해 다시 정리(整理) 해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다.
