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박막증착에 대해

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작성일 24-01-14 07:03

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1-3)양극 산화법

산…(투비컨티뉴드 )

1-4)액상 에피탁시법

1-5)Langmuir-Blodgett 막 형성법

1-6)흡착방법

1-7)CVD(화학적 증착법)

1.원료 가스나 reaction(반응)계 조건의 설정에 따라 고순도의 박막이 형성된다된다.


다.

1-2)무전기 또는 무전기 성막법

전기화학적 과정에 의해 막이 형성되는 방법.즉,외부로부터 전장을 가하지 않아도 막이 형성되는 방법이다.





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설명






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박막과 증착의 定義(정이)
박막이란 전기적,결정적 特性(특성)이 양 표면에 의해 지배되는 경우이고,그 두께는 단원자층,단분자층의 것에서부터 약5μm까지를 기준으로 두나,경우에 따라서는 그 한계가 달라질 수 있따
증착이란 액체가 증기로 되어 수송되고 성막되는 과정을 말하며,고체가 바로 증기가되어 수송되는 것을 승화라 하며,이것이 박막이 되는 기본 메커니즘이다.

5.조건에 따라 선택 성장이 가능하다. 그 용액이나,액체 속에 두 전극인 +와 -를 삽입하고, 전압을 걸어 주면 금속성인 +이온이 음극으로 끌려오고,이 금속이온이 음극 표면에 모여서 막을 형성되는 방법이다.
박막의 제조방법
박막의 제조방법에는 음극 전해 성막법, 무전극 또는 무전기 성막법, 양극 산화법, CVD법 , 액상 에피탁시법, Langmuir-Blodgett 막 형성법, 흡착 방법이 있다

1-1)음극 전해 성막법

성막될 물질이 보통 금속일 경우,이 물질이 이온의 형태로 녹아 있거나,어떤 액체 속에 섞여 있는 것을 사용한다.

4.플라즈마를 사용하지 않기 때문에 고속 입자의 충돌로 인한 손상이 없다.

2.피복성이 좋다

3.플라즈마 CVD와 비교하여 장치 구성이 간단하다.

REPORT 11(sv76)


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